News
Institute
Contact Info
Structure
Staff
Scientific Council
Young Scientists Council
Science
Scientific schools
Publications
RU
Вход
Статистический анализ влияния различных факторов на качество фотолитографических операций при производстве интегральных схем
Scopus
В.Ю. Тимофеев
,Ю.И.Савотин
,Е.Х.Левитман
: Известия вузов. Радиоэлектроника
индекс в базе ИАЦ: 034539