News
Institute
Contact Info
Structure
Staff
Scientific Council
Young Scientists Council
Science
Scientific schools
Results
Publications
RU
Вход
Article
Использование метода эволюционного планирования для оптимизации технологической операции "диффузия фосфора"
Scopus
В.Ю. Тимофеев
, Ю.И. Савотин
, Е.Х. Левитман
Issue: 4 , Volume: 16 , Уear of publication: 1973
Serial edition: Известия вузов. Радиоэлектроника
Pages: 24-29
индекс в базе ИАЦ: 034538