Публикации

Корчагина Т.Т., Володин В.А., Попов А.А., Хорьков К.С., Герке М.Н.  Формирование нанокристаллов кремния в пленке SiN_x на лавсане с применением фемтосекундных импульсных обработок // Письма в журнал технической физики – том 37 – № 13 – С. 62-69 – 2011
Korchagina T.T., Volodin V.A., Popov A.A., Khor'kov K.S., Gerke M.N.  Formation of Silicon Nanocrystals in SiNx Film on PET Substrates Using Femtosecond Laser Pulses // Technical Physics – том 37 – № 7 – С. 622-625 – 2011
Корчагина Т.Т., Марин Д.В., Володин В.А., Попов А.А., Vergnat M.  Структура и оптические свойства сформированных с применением низкочастотного плазмохимического осаждения пленок SiH_x :H, содержащих нанокластеры кремния // Физика и техника полупроводников – том 43 – № 11 – С. 1557-1563 – 2009

показано из    показать ещё

Заведующий энергоцехом

Сотрудники