новости и события25.04.2005 17:00:00МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРОВ ТРАВЛЕНИЯ С МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ КИНЕТИКОЙ<div class="smn-ict"><div class="smn-author">А.Г. ГОРОБЧУК</div><div class="smn-speaker">А.Г. ГОРОБЧУК</div><div class="smn-institute">Институт вычислительных технологий СО РАН</div><div class="smn-title"></div><div class="smn-abstract">В докладе рассматриваются задачи о течениях многокомпонентных газовых смесей с физико-химическими превращениями применительно к математическому моделированию обработки элементов микроэлектроники. Представлена численная модель плазмохимического реактора травления, соответствующая современным направлениям в моделировании технологий производства микроэлектронных схем. На ее основе выполнена оптимизация травления кремния в плазме по составу бинарной смеси. Обсуждаются перспективы создания виртуального плазмохимического реактора для системы автоматического регулирования процесса. </div></div>новости и событияМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРОВ ТРАВЛЕНИЯ С МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ КИНЕТИКОЙ<tags><tag>og:description</tag><value>А.Г. ГОРОБЧУКА.Г. ГОРОБЧУКИнститут вычислительных технологий СО РАНВ докладе рассматриваются задачи о течениях многокомпонентных газовых смесей с физико-химическими превращениями применительно к матем</value><tag>og:image</tag><value>http://news.sbras.ru/ru/NewsPictures/seminar1.jpg</value></tags>

 Источники

 

 

 Видео

 

 

 

 

 Файлы

 

 

 Новости